Näkyvän ja IR-alueen karakterisointimenetelmät MEMS ja NEMS -komponenteille
IRC-MEMS-konsortio

Franssila Sami, Aalto-yliopisto/TKK, Haeggstrom Edward, HY

Hankkeessa luodaan uusi optinen mittausmenetelmä mikro- ja nanokomponenttien dynaamiseen karakterisointiin. Tavoitteenamme on uudenlaisen stroboskooppisen interferometrin rakentaminen, jolla on mahdollista skannata sekä näkyvä että lähi-infrapuna-alue (NIR). Laitteen aallonpituusalueen laajentaminen lähi-infrapunalle mahdollistaa IR-läpinäkyvien piirakenteiden ja -komponenttien sisä- ja takapintojen tarkastelun näytettä rikkomatta. Menetelmän tuottama uudenlainen data tulee helpottamaan valmistustekniikan monitorointia ja mallinnuksen validiointia.
Laitetta käytetään mikropolttokennojen membraanien käyttäytymisen tutkimukseen. NIR-mittauksella on mahdollista mitata membraanin muotoa ja deformaatiota kennon todellisissa toimintaolosuhteissa, sekä nähdä nano- ja mikrorakenteiden vaikutus kennon mekaniikkaan reaaliajassa. Lisäksi mittausmenetelmää sovelletaan RF-metamateriaalien ja akustisten mikrokomponenttien karakterisointiin. Uuden mittausmenetelmän toimivuus osoitetaan näillä sovelluksilla, jotka vievät koko alan kehitystä eteenpäin muuttamalla MEMS-komponenttien mittausparadigmaa.